射頻與直流電源

RPDG等離子脈沖直流電源

  RPDG(等離子脈沖直流電源)可為反應物理氣相沉積(PVD)、化學氣相沉積(CVD)中的偏置或增加薄膜涂層的應用提供不對稱雙向和單向脈沖。RPG系列產品消除了會影響良品率的因素,可以使現有的PVD設備能制備更高質量、更低缺陷的薄膜,以滿足下一代工藝的需求。

 

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RPDG-50

5kW

RPDG-50是一個5kW不對稱雙極脈沖直流電源,廣泛地用于低缺陷的薄膜沉積諸如Al203、BST、PZT、Ta205、TaT、ITO、SiO2、ZnO及SiN。

RPDG-100

10kW

RPDG-100是一個10kW不對稱雙極脈沖直流電源,廣泛地用于低缺陷的薄膜沉積諸如Al203、BST、PZT、Ta205、TaT、ITO、SiO2、ZnO及SiN。

RPDG-200

20kW

RPDG-200是一個20kW不對稱雙極脈沖直流電源,廣泛地用于低缺陷的薄膜沉積諸如Al203、BST、PZT、Ta205、TaT、ITO、SiO2、ZnO及SiN。系統的組成是由一個脈沖控制單元驅動一個20kW直流從電源從而提供20kW脈沖直流輸出。

 

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