射頻與直流電源

Optima直流DC等離子電源

  當今先進濺射工藝要求高速、可控、高精度、高可靠性及優良的電弧控制?;贒CG系列直流電源,OptimaR是MKS新一代高新能直流等離子體電源供物理氣相沉積(PVD)工藝。工藝的可靠性和性能是由各種輸出調制模式、用戶可調設置及控制選項所決定。OptimaR直流功率源可用于集成電路、存儲媒介(CD、光學或磁學媒介)、平板顯示器、太陽能電池和性能增強型薄膜涂層的制造工藝。

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型號

特點

功率

OptimaROPT-50

最低的電弧能

5kW輸出功率

 

最佳的可重復性

輸出電壓>800V

 

良好的電弧控制

 

OptimaROPT-100

最低的電弧能

10kW和兩個5kW 輸出功率

 

最佳的可重復性

名義輸出電壓800V,最高可達1600V

 

良好的電弧控制

 

 

接口靈活性

 

OptimaROPT-200

良好的線性和精度(±0.1%)

20kw,雙10kW和20kW的主體配置

 

<4mj微弧能

名義輸出電壓800V,可配置更高電壓

 

20kW主體封裝體(3U)尺寸為5 1/4”

 

 

接口靈活性

 

OptimaROPT-400

最低的電弧能

40kW

 

良好的線性和精度(±0.1%)

名義輸出電壓800V,可配置更高電壓

 

<4mj微弧能

 

 

接口靈活性

 

OptimaROPT-600

最低的電弧能

60kW

 

良好的線性和精度(±0.1%)

名義輸出電壓800V,可配置更高電壓

 

<4mj微弧能

 

 

接口靈活性

 

 

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