射頻與直流電源

GHW系列13.56MH高頻RF等離子電源

  GHW系列RF等離子電源能在13.56MHz頻率下穩定輸出的最大功率為1250、2500和5000W。GHW電源經使用驗證具有高的可靠性、良好的穩定性和卓越的可重復性,能夠長時間使用并獲得良好的等離子工藝良率。

  GHW系列RF等離子電源是集成電路、平板顯示器、數據存儲器件制造中所使用的等離子增強化學氣相沉積(PECVD)、高密度等離子CVD(HDPCVD)、刻蝕和其他薄膜工藝應用的理想等離子電源設備 

  • 13.56MHz
  • 1.2-5.0Kw
  • 自動頻率調節+/-5%
  • 25針腳或DNET接口
  • 208 Vac產品型號為“A”
  • 400/480 Vac產品型號為“Z” 

型號

電壓

功率

頻率

輸出

面板

通訊接口

GHW12A-13DF2N0-001

208

1.25kW

13.56MHz

N

全功能

DeviceNet

GHW12A-13DF2N0-10

208

1.25kW

13.56MHz

N

全功能

DeviceNet

GHW12Z-13DF2NH-002

480

1.25kW

13.56MHz

N

全功能

DeviceNet

GHW12Z-13DF2N0-005

480

1.25kW

13.56MHz

N

全功能

Profibus

GHW25A-13DF3N0-000

208

2.5kW

13.56MHz

N

全功能

25針摸擬

GHW50A-13DF3H0-000

208

5kW

13.56MHz

HN

全功能

25針摸擬

GHW50A-13DF3H0-10

208

5kW

13.56MHz

HN

全功能

DeviceNet

GHW50A-12DF3H0-001

208

5kW

12.56MHz

HN

全功能

25針摸擬

GHW50Z-13DF3H0-000

480

5kW

13.56MHz

HN

全功能

25針摸擬

 

 

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