射頻與直流電源

SurePower系列13.56MH高頻RF等離子電源

  SurePowerTM等離子電源平臺是市場上13.56MHz電源中最為先進的一種。SurePowerTM采用了最新的拓撲結構和獲得專利的內建功率放大保護技術、經改進的設計容限和嵌入式V-Ⅰ探針式感應器。它與市面上同類產品相比,具有最佳的可靠性、可重復性以及精確性。裝配在一個3U高度機箱的電源平臺最高能提供15kW的功率(13.56MHz)??蛇x的自動頻率調節功能使得采用固定的匹配網絡具有更快的調整速度和更佳的系統整體可靠性,并且降低了成本。RF電源可選208VAC或400/800VAC。RF電源附帶CEX和標準接口:摸擬、串行和DeviceNetTM。SurePowerTM輸出功率范圍為3.5kW到13.0kW,并同時能向您提供

  • 優異的性能表現
  • 比同類產品更高的功率
  • 能向等離子傳輸更高的功率
  • 良好的可靠性
  • 自動頻率調節+/-5%
  • 具有CEX功能
  • 板上25針腳的摸擬、RS232和DNET接口

   SurePowerTM可用于所有13.56MHz的等離子設備作為RF電源,包括:在集成電路、平板顯示器和數據存儲器件制造中的PECVD、HDPCVD、PVD、ALD、刻蝕以及去膠工藝。SurePowerTM電源能保證不同硅園片間及不同工藝批次間加工工藝的良好可重復性。

型號

電壓

功率

頻率

輸出

通訊接口

QL15013Z-0F01

400-800V

15.0kW

13.56MHz

LC

25針摸擬

QL15013A-0F01

208V

15.0kW

13.56MHz

LC

25針摸擬,DNet

QL13013A-0F01

208V

13.0kW

13.56MHz

LC

25針摸擬,DNet

QL13013A-1F01*

208V

13.0kW

13.56MHz

LC

25針摸擬,DNet

QL10513A-0F01

208V

10.5kW

13.56MHz

LC

25針摸擬,DNet

QL10513A-1F01*

208V

10.5kW

13.56MHz

LC

25針摸擬,DNet

QL6513Z-0F01

400-800V

6.5kW

13.56MHz

LC

25針摸擬,DNet

QL6513A-0F01

208V

6.5kW

13.56MHz

LC

25針摸擬,DNet

QL6513A-1F01*

208V

6.5kW

13.56MHz

LC

25針摸擬,DNet

QL3513A-0F01

208V

3.5kW

13.56MHz

HN

25針摸擬,DNet

QL3513A-1F01*

208V

3.5kW

13.56MHz

HN

25針摸擬,DNet

QL3513A-0F05**

208V

3.5kW

13.56MHz

HN

25針摸擬,DNet

QL3513A-1F31*

208V

3.5kW

13.56MHz

HN

Profibus

* 自動頻率調諧選件

** CEX選件

 

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